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一種熱式質量流量計的質量流量控製裝置
發布日期:2019/11/26 12:36:29
一種熱式質量流量計,其特征具有:流體在內部流動的傳感器管;上遊側加熱元件和下遊側加熱元件,它們設置於所述傳感器管的外周且由發熱電阻絲形成:以及通過點焊電連接了所述發熱電阻絲的端部的多個焊接端子,焊接端子由具有與所述發熱電阻絲的熔點的溫度差不超過100C的熔點的金屬或合金形成。
1.焊接端子的表麵設置有1層或2層以上的覆蓋層。
2.熱式質量流量計端部與焊接端子的部分連接,覆蓋層至少設置於位於一部分的背側的部分
3.1或2所述的熱式質量流量計,發熱電阻絲和所述焊接端子的材料為由相同成分組成的合金。
4.1或2所述的熱式質量流量計發熱電阻絲由具有5um以上且100um以下的絲直徑的Fe-Ni合金絲形成。
5.熱式質量流量計焊接端子由Fe-Ni合金形成
6.1~5中任一項所述的熱式質量流量計覆蓋層中的位於ZUI外側的覆蓋層由u或Au形成。
7.6所述的熱式質量流量計覆蓋層由兩層構成,所述兩層為由Ni構成的基底覆蓋層和由Au構成的表麵覆蓋層。
質量流量計控製裝置(質量流量控製器)在半導體的製造工藝中為了控製被供給到腔室內的工藝氣體的供給量而被廣泛地使用。質量流量控製裝置由用於監測質量流量的質量流量計、用於控製質量流量的控製閥和控製電路等構成。質量流量計有各種各樣的種類,其中,熱式質量流量計具有原理上能夠準確地測量質量流量的特征。因此,熱式質量流量計作為組裝到質量流量控製裝置中而使用的質量流量計而被廣泛普及。
圖1是示出熱式質量流量計的傳感器部的結構的示意圖。熱式質量流量計的傳感器部1由如下構件構成:流體在內部流動的傳感器管2:設置於傳感器管2的外周的由發熱電阻絲形成的上遊側加熱元件3及下遊側加熱元件4:以及通過點焊與發熱電阻絲的端部電連接了的多個焊接端子5。通過使電流流經上遊側加熱元件3和下遊側加熱元件4,在傳感器管2的內部流動的流體被加熱。流體從上遊側朝向下遊側流動時,與之相伴地,施加到流體上的熱也從上遊側朝向下遊側移動,因此傳感器部1的溫度分布發生變化,上遊側加熱元件3和下遊側加熱元件4的電阻發生變化。通過測量該電阻的變化,能夠檢測在傳感器管2的內部流動的流體的質量流量。
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